An Oxide Chemical Mechanical Planarization Model for HKMG Structures
文献类型：期刊论文
| 作者 | Sun Y(孙艳); Liu HW(刘宏伟); Chen L(陈岚); Xu QZ(徐勤志); Yang F(杨飞) |
| 刊名 | ECS Journal of Solid State Science and Technology
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| 出版日期 | 2018-09-27 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/19041]  |
| 专题 | 微电子研究所_EDA中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Sun Y,Liu HW,Chen L,et al. An Oxide Chemical Mechanical Planarization Model for HKMG Structures[J]. ECS Journal of Solid State Science and Technology,2018. |
| APA | 孙艳,刘宏伟,陈岚,徐勤志,&杨飞.(2018).An Oxide Chemical Mechanical Planarization Model for HKMG Structures.ECS Journal of Solid State Science and Technology. |
| MLA | 孙艳,et al."An Oxide Chemical Mechanical Planarization Model for HKMG Structures".ECS Journal of Solid State Science and Technology (2018). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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