采用高精度X射线/CT技术对硅通孔的无损测试
文献类型：会议论文
| 作者 | 靖向萌 |
| 出版日期 | 2012 |
| 会议日期 | 2012-12-05 |
| 会议录 | EPTC2012
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| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/11589]  |
| 专题 | 微电子研究所_系统封装与集成研发中心 |
| 通讯作者 | 靖向萌 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 靖向萌. 采用高精度X射线/CT技术对硅通孔的无损测试[C]. 见:. 2012-12-05. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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