微型压电振动能量收集器及其制造方法
文献类型：专利
| 作者 | 欧毅; 吴航; 郑陶雷; 欧文; 刘宇 |
| 发表日期 | 2012 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明设计一种新型MEMS压电振动能量收集器的结构及其制备方法，其包括双抛衬底；双面衬底保护层；正面金属导电层(底)作为输出底电极；金属上层制备图形化后的导电胶；PZT压电片通过导电胶键合在硅片底电极；整片覆盖顶电极金属导电层(顶)；KOH通过背面衬底保护层窗口腐蚀，释放出不含Si以环氧树脂为主的悬臂梁结构；划片释放出悬臂梁-质量块结构。本发明结构简单易于实现，便于批量生产，敏感度，输出电平、功率高，适用范围广，安全可靠。 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/17672]  |
| 专题 | 微电子研究所_系统封装与集成研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 欧毅,吴航,郑陶雷,等. 微型压电振动能量收集器及其制造方法. 2012-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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