基于混合集成的片上光源结构及其制备方法
文献类型:专利
作者 | 刘丰满![]() ![]() |
发表日期 | 2018-11-20 |
专利号 | CN201710131860.2 |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明提供一种基于混合集成的片上光源结构,包括载板、载板互连线、激光器、准直透镜、光隔离器和密闭盖板,其中,激光器通过所述载板互连线获得供电并连接到载板;激光器发射的光依次通过准直透镜、光隔离器、密闭盖板下部,以最佳入射角入射位于光子芯片表面下方的光栅;光隔离器出射的光线与光子芯片表面垂直,且所述光栅所在位置的截面与光子芯片表面垂直。本发明还提供一种制备基于混合集成的片上光源结构的制备方法。本发明能够实现片上光源集成,集成度高、损耗小、安装简单便捷,还可以通过光学密闭盖板灵活调整光路。 |
公开日期 | 2017-07-25 |
申请日期 | 2017-03-07 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/18705] ![]() |
专题 | 微电子研究所_系统封装与集成研发中心 |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘丰满,曹立强. 基于混合集成的片上光源结构及其制备方法. CN201710131860.2. 2018-11-20. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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