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Optical sensitivity analysis of deformed mirrors for microcantilever array IR imaging

文献类型：外文期刊

作者Cheng, T; Mao, L; Qian, J; Zhang, QC; Shi, HT; Gao, J; Wu, XP; Chen, DP; Jiao, BB
发表日期2009
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/8968]  
专题微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714		 Cheng, T,Mao, L,Qian, J,et al. Optical sensitivity analysis of deformed mirrors for microcantilever array IR imaging. 2009.

入库方式： OAI收割

来源：微电子研究所

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