Modeling and optimal design of multilayer thermal cantilever microactuators
文献类型：外文期刊
| 作者 | Fu, JY; Ou, Y; Jiao, BB; Ye, TC; Chen, DP |
| 发表日期 | 2009 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8974]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Fu, JY,Ou, Y,Jiao, BB,et al. Modeling and optimal design of multilayer thermal cantilever microactuators. 2009. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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