The photoluminescence of SiCN thin films prepared by C+ implantation into alpha-SiNx:H
文献类型：外文期刊
| 作者 | Dong, LJ; Zhang, GB; Xu, PS; Chen, DP; Chen, CO; Liu, YZ; Zhang, X |
| 发表日期 | 2010 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/9000]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Dong, LJ,Zhang, GB,Xu, PS,et al. The photoluminescence of SiCN thin films prepared by C+ implantation into alpha-SiNx:H. 2010. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。