42微米像素240*240MEMS非制冷红外焦平面阵列设计、加工及测试
文献类型：期刊论文
| 作者 | 欧毅 ; 李志刚; 董凤良
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| 刊名 | IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems (JMEMS)
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| 出版日期 | 2012-11-27 |
| 其他题名 | Design, Fabrication, and Characterization of a 240 x 240 MEMS Uncooled Infrared Focal Plane Array with 42 μm Pitch Pixels |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-11-04 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/11569]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 通讯作者 | 欧毅 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 欧毅,李志刚,董凤良. 42微米像素240*240MEMS非制冷红外焦平面阵列设计、加工及测试[J]. IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems (JMEMS),2012. |
| APA | 欧毅,李志刚,&董凤良.(2012).42微米像素240*240MEMS非制冷红外焦平面阵列设计、加工及测试.IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems (JMEMS). |
| MLA | 欧毅,et al."42微米像素240*240MEMS非制冷红外焦平面阵列设计、加工及测试".IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems (JMEMS) (2012). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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