Investigation on Performance and Vacuum Package of MEMS Infrared Focal Plane Arrays
文献类型：期刊论文
| 作者 | Qu FR(屈芙蓉) ; Ou Y(欧毅); Li ZG(李志刚)
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| 刊名 | Electron Device Letters, IEEE
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| 出版日期 | 2013-02-21 |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2014-10-30 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/12058]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 通讯作者 | Ou Y(欧毅) |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Qu FR,Ou Y,Li ZG. Investigation on Performance and Vacuum Package of MEMS Infrared Focal Plane Arrays[J]. Electron Device Letters, IEEE,2013. |
| APA | Qu FR,Ou Y,&Li ZG.(2013).Investigation on Performance and Vacuum Package of MEMS Infrared Focal Plane Arrays.Electron Device Letters, IEEE. |
| MLA | Qu FR,et al."Investigation on Performance and Vacuum Package of MEMS Infrared Focal Plane Arrays".Electron Device Letters, IEEE (2013). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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