Design, Fabrication, and Characterization of a 240 x240 MEMS Uncooled I nfrared Focal Plane Array With 42um Pitch Pixels
文献类型：期刊论文
| 作者 | Li ZG(李志刚) ; Ou Y(欧毅); Dong FL(董凤良)
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| 刊名 | IEEE Journal of Microelectromechanical Systems.
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| 出版日期 | 2013-03-29 |
| 公开日期 | 2014-10-30 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/12060]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 通讯作者 | Ou Y(欧毅) |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Li ZG,Ou Y,Dong FL. Design, Fabrication, and Characterization of a 240 x240 MEMS Uncooled I nfrared Focal Plane Array With 42um Pitch Pixels[J]. IEEE Journal of Microelectromechanical Systems.,2013. |
| APA | Li ZG,Ou Y,&Dong FL.(2013).Design, Fabrication, and Characterization of a 240 x240 MEMS Uncooled I nfrared Focal Plane Array With 42um Pitch Pixels.IEEE Journal of Microelectromechanical Systems.. |
| MLA | Li ZG,et al."Design, Fabrication, and Characterization of a 240 x240 MEMS Uncooled I nfrared Focal Plane Array With 42um Pitch Pixels".IEEE Journal of Microelectromechanical Systems. (2013). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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