Punch through stop layer optimization in bulk FinFETs
文献类型：期刊论文
| 作者 | Li R(李睿); Liu YF(刘云飞); Zhang KK(张珂珂); Zhao C(赵超) ; Zhu HL(朱慧珑); Yin HZ(尹海洲)
|
| 刊名 | ICSICT2014
 |
| 出版日期 | 2014-10-31 |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2015-05-06 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/12748]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 通讯作者 | Yin HZ(尹海洲) |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Li R,Liu YF,Zhang KK,et al. Punch through stop layer optimization in bulk FinFETs[J]. ICSICT2014,2014. |
| APA | Li R,Liu YF,Zhang KK,Zhao C,Zhu HL,&Yin HZ.(2014).Punch through stop layer optimization in bulk FinFETs.ICSICT2014. |
| MLA | Li R,et al."Punch through stop layer optimization in bulk FinFETs".ICSICT2014 (2014). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。