单型掺杂柱电极的3D硅像素探测器的器件与制造工艺研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 明希; 殷华湘 ; 孟令款; 李俊杰; 贾云丛; 李贞杰; 袁烽; 刘鹏; 陈大鹏
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| 刊名 | 半导体光电
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| 出版日期 | 2015-02-01 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2016-05-31 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/15045]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 明希,殷华湘,孟令款,等. 单型掺杂柱电极的3D硅像素探测器的器件与制造工艺研究[J]. 半导体光电,2015. |
| APA | 明希.,殷华湘.,孟令款.,李俊杰.,贾云丛.,...&陈大鹏.(2015).单型掺杂柱电极的3D硅像素探测器的器件与制造工艺研究.半导体光电. |
| MLA | 明希,et al."单型掺杂柱电极的3D硅像素探测器的器件与制造工艺研究".半导体光电 (2015). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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