微纳机电开关研究现状
文献类型：期刊论文
| 作者 | 曹合适; 粟雅娟
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| 刊名 | 电子技术应用
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| 出版日期 | 2015-09-25 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2016-05-31 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/15057]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹合适,粟雅娟. 微纳机电开关研究现状[J]. 电子技术应用,2015. |
| APA | 曹合适,&粟雅娟.(2015).微纳机电开关研究现状.电子技术应用. |
| MLA | 曹合适,et al."微纳机电开关研究现状".电子技术应用 (2015). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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