Effect of hydrogen carrier gas on AlN and AlGaN growth in AMEC Prismo D-Blues MOCVD platform
文献类型：期刊论文
| 作者 | Zhao C(赵超) ; Bao QL(包琦龙); Luo J(罗军)
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| 刊名 | Journal of crystal growth
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| 出版日期 | 2015-03-15 |
| 公开日期 | 2016-05-31 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/15071]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhao C,Bao QL,Luo J. Effect of hydrogen carrier gas on AlN and AlGaN growth in AMEC Prismo D-Blues MOCVD platform[J]. Journal of crystal growth,2015. |
| APA | Zhao C,Bao QL,&Luo J.(2015).Effect of hydrogen carrier gas on AlN and AlGaN growth in AMEC Prismo D-Blues MOCVD platform.Journal of crystal growth. |
| MLA | Zhao C,et al."Effect of hydrogen carrier gas on AlN and AlGaN growth in AMEC Prismo D-Blues MOCVD platform".Journal of crystal growth (2015). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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