RESEARCH OF THIN MEMBRANE METAL OXIDE TIO2 GAS SENSOR WITH NANO POLY-SILICON STRUCTURE MADE BY PLASMA IMMERSION ION IMPLANTATION
文献类型：会议论文
| 作者 | Chen DP(陈大鹏) ; Ming AJ(明安杰); Li CB(李超波); Wang WB(王玮冰)
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| 出版日期 | 2015-10-11 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/15288]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Chen DP,Ming AJ,Li CB,et al. RESEARCH OF THIN MEMBRANE METAL OXIDE TIO2 GAS SENSOR WITH NANO POLY-SILICON STRUCTURE MADE BY PLASMA IMMERSION ION IMPLANTATION[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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