Defect engineering for shallow n‐type junctions in germanium: Facts and fiction
文献类型：期刊论文
| 作者 | Eddy Simoen ; Luo J(罗军); Zhao C(赵超); Liu JB(刘金彪)
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| 刊名 | physica status solidi (a)
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| 出版日期 | 2016-11-01 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/16227]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Eddy Simoen,Luo J,Zhao C,et al. Defect engineering for shallow n‐type junctions in germanium: Facts and fiction[J]. physica status solidi (a),2016. |
| APA | Eddy Simoen,罗军,赵超,&刘金彪.(2016).Defect engineering for shallow n‐type junctions in germanium: Facts and fiction.physica status solidi (a). |
| MLA | Eddy Simoen,et al."Defect engineering for shallow n‐type junctions in germanium: Facts and fiction".physica status solidi (a) (2016). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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