Damage free removal of nano-particles with DUAL-FLUID spray nozzle cleaning
文献类型：会议论文
| 作者 | He XB(贺晓彬) ; Li JJ(李俊杰); Han JH(韩江浩); Jiang QF(姜齐风); Zhao C(赵超); Cui HS(崔虎山)
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| 出版日期 | 2016-05-05 |
| 文献子类 | 会议论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/16337]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | He XB,Li JJ,Han JH,et al. Damage free removal of nano-particles with DUAL-FLUID spray nozzle cleaning[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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