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半导体器件及其制造方法

文献类型：专利

作者闫江; 陈邦明; 王红丽; 唐波; 唐兆云; 徐烨锋; 李春龙; 杨萌萌; 许静
发表日期2014-08-15
著作权人中国科学院微电子研究所
国家美国
文献子类发明
源URL[http://159.226.55.106/handle/172511/16596]  
专题微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714		 闫江,陈邦明,王红丽,等. 半导体器件及其制造方法. 2014-08-15.

入库方式： OAI收割

来源：微电子研究所

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