本发明公开了一种应力匹配的双材料微悬臂梁的制造方法，包括：在衬底上采用LPCVD沉积应力为F1的压应力SiO2膜，F1＜0；对压应力SiO2膜注入掺杂剂，在其表面形成重掺杂SiO2膜退火使得压应力SiO2膜转变为应力为F2的张应力SiO2膜，F2＞0；控制淀积温度，在重掺杂SiO2膜上方形成具有应力为F3的Al薄膜，其中F3＝F2。依照本发明的应力匹配的双材料微悬臂梁的制造方法，其工艺简单、与传统微细加工工艺兼容，不但实现双材料悬臂梁的应力完全匹配，而且明显增强SiO2的抗XeF2腐蚀能力，最终使采用Al和SiO2双材料的、应力完全匹配的悬臂梁制作成功实现。