纳米级CMOS器件应力金属栅工程及结构优化研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 付作振 |
| 答辩日期 | 2013-05 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 导师 | 殷华湘 ; 叶甜春 ; 陈大鹏 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/17225]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 付作振. 纳米级CMOS器件应力金属栅工程及结构优化研究[D]. 中国科学院大学. 2013. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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