Fabricating metal structures with taper angles and smooth sidewalls
文献类型：期刊论文
| 作者 | Li JF(李俊峰) ; Wang WB(王玮冰); Li JJ(李俊杰); Zhao C(赵超); He XB(贺晓彬); Yu JH(余嘉晗); Zhou N(周娜); Jiang QF(姜齐风); Fu JY(傅剑宇)
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| 刊名 | Journal of Micromechanics and Microengineering
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| 出版日期 | 2017-11-07 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/17986]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Li JF,Wang WB,Li JJ,et al. Fabricating metal structures with taper angles and smooth sidewalls[J]. Journal of Micromechanics and Microengineering,2017. |
| APA | Li JF.,Wang WB.,Li JJ.,Zhao C.,He XB.,...&Fu JY.(2017).Fabricating metal structures with taper angles and smooth sidewalls.Journal of Micromechanics and Microengineering. |
| MLA | Li JF,et al."Fabricating metal structures with taper angles and smooth sidewalls".Journal of Micromechanics and Microengineering (2017). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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