垂直纳米线晶体管的制备技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 侯朝昭; 姚佳欣; 殷华湘 |
| 刊名 | 半导体技术
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| 出版日期 | 2017-04-01 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/18118]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 侯朝昭,姚佳欣,殷华湘. 垂直纳米线晶体管的制备技术[J]. 半导体技术,2017. |
| APA | 侯朝昭,姚佳欣,&殷华湘.(2017).垂直纳米线晶体管的制备技术.半导体技术. |
| MLA | 侯朝昭,et al."垂直纳米线晶体管的制备技术".半导体技术 (2017). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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