A CMOS Compatible MEMS Pirani Vacuum Gauge with Monocrystal Silicon Heaters and Heat Sinks
文献类型：期刊论文
| 作者 | Zhang LM(张乐民); Jiao BB(焦斌斌) ; Yun SC(云世昌); Kong YM(孔延梅); Chen DP(陈大鹏)
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| 刊名 | CHIN.PHYS.LETT
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| 出版日期 | 2017-02-09 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/18128]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhang LM,Jiao BB,Yun SC,et al. A CMOS Compatible MEMS Pirani Vacuum Gauge with Monocrystal Silicon Heaters and Heat Sinks[J]. CHIN.PHYS.LETT,2017. |
| APA | Zhang LM,Jiao BB,Yun SC,Kong YM,&Chen DP.(2017).A CMOS Compatible MEMS Pirani Vacuum Gauge with Monocrystal Silicon Heaters and Heat Sinks.CHIN.PHYS.LETT. |
| MLA | Zhang LM,et al."A CMOS Compatible MEMS Pirani Vacuum Gauge with Monocrystal Silicon Heaters and Heat Sinks".CHIN.PHYS.LETT (2017). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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