高性能波导集成型PIN光电探测器的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 刘道群 |
| 答辩日期 | 2018-05-11 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 导师 | 李志华 |
| 学位专业 | 集成电路工程 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/18396]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘道群. 高性能波导集成型PIN光电探测器的研究[D]. 中国科学院大学. 2018. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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