1微米LSI中TiSi2TaSi2/N+多晶硅复合结构RIE腐蚀研究
文献类型：成果
| 作者 | 赵玉印 ; 徐秋霞; 周锁京; 冯淑敏
|
| 获奖日期 | 1990 |
| 文献子类 | 中国科学院科技进步奖 |
| 奖励等级 | 三等奖 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/18456]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵玉印,徐秋霞,周锁京,等. 1微米LSI中TiSi2TaSi2/N+多晶硅复合结构RIE腐蚀研究. . 1990. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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