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0.8微米CMOS集成电路芯片制造技术

文献类型：成果

作者户焕章; 刘改芬; 柴树敏; 袁湘君; 赵玉印; 龚义元; 李夏; 朱亚江; 周小茵; 徐秋霞
获奖日期1996
文献子类中国科学院科技进步奖
奖励等级一等奖
语种中文
源URL[http://159.226.55.106/handle/172511/18458]  
专题微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714		 户焕章,刘改芬,柴树敏,等. 0.8微米CMOS集成电路芯片制造技术. . 1996.

入库方式： OAI收割

来源：微电子研究所

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