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22纳米集成电路核心工艺

文献类型:成果

作者张建勇; 霍宗亮; 李俊峰; 殷华湘; 王文武; 闫江; 赵超; 陈大鹏; 朱慧珑; 徐秋霞
获奖日期2016
文献子类北京市科学技术奖
奖励等级一等奖
语种中文
源URL[http://159.226.55.106/handle/172511/18486]  
专题微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张建勇,霍宗亮,李俊峰,等. 22纳米集成电路核心工艺. . 2016.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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