22-14纳米集成电路器件工艺先导技术
文献类型：成果
| 作者 | 张卫; 殷华湘 ; 叶甜春; 徐秋霞; 霍宗亮; 陈大鹏
|
| 获奖日期 | 2017 |
| 文献子类 | 国家技术发明奖 |
| 奖励等级 | 二等奖 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/18490]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张卫,殷华湘,叶甜春,等. 22-14纳米集成电路器件工艺先导技术. . 2017. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。