石墨烯结构、石墨烯器件及其制造方法
文献类型:专利
作者 | 贾昆鹏![]() ![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2018-02-02 |
专利号 | CN201410012588.2 |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明公开了一种石墨烯结构、石墨烯器件及其制造方法,石墨烯结构的制造方法包括:提供衬底,所述衬底上具有沟槽;在所述沟槽中沿沟槽方向形成相互间隔的催化剂层;在催化剂层的上端面上生长石墨烯层。通过在沟槽中形成相互间隔的催化剂层,进而在催化剂层的端面上生长石墨烯层,来形成石墨烯条带,尤其适合尺寸更小的纳米带的制备,易大规模集成使用,并易于集成石墨烯器件。 |
公开日期 | 2015-07-15 |
申请日期 | 2014-01-10 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/18744] ![]() |
专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾昆鹏,粟雅娟,朱慧珑,等. 石墨烯结构、石墨烯器件及其制造方法. CN201410012588.2. 2018-02-02. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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