本发明提供一种沟道替换工艺的监测方法，包括：提供外延形成替代沟道后的衬底的质量目标值以及其容差范围；提供具有鳍的衬底，去除鳍以形成开口；在开口中外延形成替代沟道；获得形成替代沟道后的衬底的质量；判断该质量是否在质量目标值的容差范围内。该方法直观、快速并对晶圆没有损伤，适用于量产时对沟道外延工艺的有效监测，以有效控制沟道外延工艺。