一种FinFET结构及其制造方法
文献类型:专利
作者 | 尹海洲![]() |
发表日期 | 2018-09-07 |
专利号 | CN201410459571.1 |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明提供了一种FinFET结构及其制造方法,包括:衬底结构,所述沉底结构为SOI衬底;第一鳍片和第二鳍片,所述第一、第二鳍片位于所述衬底结构上方,彼此平行;栅极叠层,覆盖所述衬底结构和部分第一、第二鳍片的侧壁;源区,位于所述第一鳍片未被栅极叠层所覆盖的区域;漏区,位于所述第二鳍片未被栅极叠层所覆盖的区域;侧墙,位于所述第一、第二鳍片两侧,栅极叠层上方,用于隔离源区、漏区和栅极叠层;衬底结构沟道区,所述衬底结构沟道区位于所述衬底结构中靠近上表面的区域中。本发明在现有FinFET工艺的基础上提出了一种新的器件结构,使器件的栅长不受footprint尺寸限制,有效地解决了短沟道效应所带来的问题。 |
公开日期 | 2016-03-16 |
申请日期 | 2014-09-10 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/18832] ![]() |
专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 尹海洲,刘云飞,李睿. 一种FinFET结构及其制造方法. CN201410459571.1. 2018-09-07. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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