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一种FinFET结构及其制造方法

文献类型:专利

作者尹海洲; 刘云飞; 李睿
发表日期2018-09-07
专利号CN201410459571.1
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明提供了一种FinFET结构及其制造方法,包括:衬底结构,所述沉底结构为SOI衬底;第一鳍片和第二鳍片,所述第一、第二鳍片位于所述衬底结构上方,彼此平行;栅极叠层,覆盖所述衬底结构和部分第一、第二鳍片的侧壁;源区,位于所述第一鳍片未被栅极叠层所覆盖的区域;漏区,位于所述第二鳍片未被栅极叠层所覆盖的区域;侧墙,位于所述第一、第二鳍片两侧,栅极叠层上方,用于隔离源区、漏区和栅极叠层;衬底结构沟道区,所述衬底结构沟道区位于所述衬底结构中靠近上表面的区域中。本发明在现有FinFET工艺的基础上提出了一种新的器件结构,使器件的栅长不受footprint尺寸限制,有效地解决了短沟道效应所带来的问题。

公开日期2016-03-16
申请日期2014-09-10
语种中文
源URL[http://159.226.55.107/handle/172511/18832]  
专题微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
尹海洲,刘云飞,李睿. 一种FinFET结构及其制造方法. CN201410459571.1. 2018-09-07.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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