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一种CMOS结构及其制造方法

文献类型:专利

作者李睿; 刘云飞; 尹海洲
发表日期2018-09-07
专利号CN201410459563.7
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明提供了一种CMOS结构及其制造方法,包括:衬底;器件隔离区,所述器件隔离区将衬底分隔成第一区域和第二区域;所述第一区域中包括第一、第二鳍片,第一源区、第一漏区分别位于第一、第二鳍片顶部区域,构成具有U型沟道的NMOS结构;所述第二区域中包括第三、第四鳍片,第二源区、第二漏区分别位于第三、第四鳍片顶部区域,构成具有U型沟道的PMOS结构;栅极叠层;隔离区。本发明在现有FinFET工艺的基础上提出了一种新的器件结构,使器件的栅长不受footprint尺寸限制,有效地解决了短沟道效应所带来的问题。

公开日期2016-03-16
申请日期2014-09-10
语种中文
源URL[http://159.226.55.107/handle/172511/18833]  
专题微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李睿,刘云飞,尹海洲. 一种CMOS结构及其制造方法. CN201410459563.7. 2018-09-07.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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