半导体设置及其制造方法及包括该设置的电子设备
文献类型:专利
作者 | 朱慧珑![]() |
发表日期 | 2018-10-30 |
专利号 | US10115641 |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
国家 | 美国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | There are provided a semiconductor arrangement, a method of manufacturing the same, and an electronic device including the semiconductor arrangement. According to an embodiment, the semiconductor arrangement may include a first semiconductor device and a second semiconductor device stacked in sequence on a substrate. Each of the first semiconductor device and the second semiconductor device may include a first source/drain layer, a channel layer and a second source/drain layer stacked in sequence, and a gate stack surrounding a periphery of the channel layer. The channel layer may comprise a semiconductor material different from that of the first source/drain layer and from that of the second source/drain layer. |
公开日期 | 2018-04-05 |
申请日期 | 2017-09-28 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/18885] ![]() |
专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱慧珑. 半导体设置及其制造方法及包括该设置的电子设备. US10115641. 2018-10-30. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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