Pattern quality and defect evaluation based on cross correlation and power spectral density methods
文献类型：期刊论文
| 作者 | Zhang LB(张利斌) ; Ma L(马乐); Chen R(陈睿); He JF(何建芳); Su XJ(苏晓菁); Dong LS(董立松); Su YJ(粟雅娟); Wei YY(韦亚一)
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| 刊名 | J Vac Sci Technol B
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| 出版日期 | 2018-08-30 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/19064]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhang LB,Ma L,Chen R,et al. Pattern quality and defect evaluation based on cross correlation and power spectral density methods[J]. J Vac Sci Technol B,2018. |
| APA | Zhang LB.,Ma L.,Chen R.,He JF.,Su XJ.,...&Wei YY.(2018).Pattern quality and defect evaluation based on cross correlation and power spectral density methods.J Vac Sci Technol B. |
| MLA | Zhang LB,et al."Pattern quality and defect evaluation based on cross correlation and power spectral density methods".J Vac Sci Technol B (2018). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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