Optimized fabrication of wafer-level Si waveguides based on 200mm CMOS platform
文献类型：期刊论文
| 作者 | Li ZH(李志华) ; Li B(李彬); Tang B(唐波); Zhang P(张鹏); Yu JZ(余金中); Liu XY(刘新宇)
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| 刊名 | Optik
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| 出版日期 | 2018-11-14 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/19078]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Li ZH,Li B,Tang B,et al. Optimized fabrication of wafer-level Si waveguides based on 200mm CMOS platform[J]. Optik,2018. |
| APA | Li ZH,Li B,Tang B,Zhang P,Yu JZ,&Liu XY.(2018).Optimized fabrication of wafer-level Si waveguides based on 200mm CMOS platform.Optik. |
| MLA | Li ZH,et al."Optimized fabrication of wafer-level Si waveguides based on 200mm CMOS platform".Optik (2018). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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