Silicon Photonics Technology on 200-mm CMOS Platform for High Integration Applications
文献类型：期刊论文
| 作者 | Li ZH(李志华); Li B(李彬); Tang B(唐波); Zhang P(张鹏); Liu DQ(刘道群); Liu RN(刘若男); Zhou ZY(周章渝); Yu JZ(余金中) |
| 刊名 | Proceedings of SPIE
 |
| 出版日期 | 2018-11-08 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/19079]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Li ZH,Li B,Tang B,et al. Silicon Photonics Technology on 200-mm CMOS Platform for High Integration Applications[J]. Proceedings of SPIE,2018. |
| APA | 李志华.,李彬.,唐波.,张鹏.,刘道群.,...&余金中.(2018).Silicon Photonics Technology on 200-mm CMOS Platform for High Integration Applications.Proceedings of SPIE. |
| MLA | 李志华,et al."Silicon Photonics Technology on 200-mm CMOS Platform for High Integration Applications".Proceedings of SPIE (2018). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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