Role of Ti Electrode on the Electrical Characterization of Filament within Al 2 O 3 Based Antifuse
文献类型：期刊论文
| 作者 | Wang ZJ(王志军); Tian M(田敏); Xu J(许静) ; Zhong HC(钟汇才); Li Li; Luo J(罗军)
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| 刊名 | ECS Journal of Solid State Science and Technology
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| 出版日期 | 2018-01-16 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/19188]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang ZJ,Tian M,Xu J,et al. Role of Ti Electrode on the Electrical Characterization of Filament within Al 2 O 3 Based Antifuse[J]. ECS Journal of Solid State Science and Technology,2018. |
| APA | 王志军,田敏,许静,钟汇才,Li Li,&罗军.(2018).Role of Ti Electrode on the Electrical Characterization of Filament within Al 2 O 3 Based Antifuse.ECS Journal of Solid State Science and Technology. |
| MLA | 王志军,et al."Role of Ti Electrode on the Electrical Characterization of Filament within Al 2 O 3 Based Antifuse".ECS Journal of Solid State Science and Technology (2018). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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