高性能波导集成型锗 p i n光电探测器的制备
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张鹏; 王桂磊; 刘道群; 李志华; 冯俊波; 唐波 |
| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2018-04-12 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/19207]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 1.中国电子科技集团公司第三十八研究所 2.中国科学院大学; 3.中国科学院微电子研究所; |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张鹏,王桂磊,刘道群,等. 高性能波导集成型锗 p i n光电探测器的制备[J]. 微纳电子技术,2018. |
| APA | 张鹏,王桂磊,刘道群,李志华,冯俊波,&唐波.(2018).高性能波导集成型锗 p i n光电探测器的制备.微纳电子技术. |
| MLA | 张鹏,et al."高性能波导集成型锗 p i n光电探测器的制备".微纳电子技术 (2018). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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