Micro Electro Mechanical Systems
文献类型：专著
| 作者 | Ye TC(叶甜春) ; Chen DP(陈大鹏); Shi SL(石莎莉); Jiao BB(焦斌斌)
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| 出版日期 | 2018 |
| 出版者 | Springer Nature |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/19276]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Ye TC,Chen DP,Shi SL,et al. Micro Electro Mechanical Systems[M]:Springer Nature,2018. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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