制备具有通道的低温共烧陶瓷基板的方法
文献类型：专利
| 作者 | 尹军舰; 杜泽保; 张海英; 朱旻 |
| 发表日期 | 2010-12-08 |
| 专利号 | 201010591318.3 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种制备具有通道的低温共烧陶瓷基板的方法。该方法包括：将基板进行切割；将切割件进行烧结；烧结后的切割件填充至原有基板并注蜡进行固定；第二层到第n层基板均按上述工艺得到；将n层基板层压烧结；拆除各个切割件即可获得一种具有通道的低温共烧陶瓷基板。本发明中，由于存在原切割件的支撑作用，在成品的基板中通道侧壁的形状在烧制前后可以基本保持不变。 |
| 公开日期 | 2015-05-20 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/13026]  |
| 专题 | 微电子研究所_健康电子研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 尹军舰,杜泽保,张海英,等. 制备具有通道的低温共烧陶瓷基板的方法. 201010591318.3. 2010-12-08. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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