本发明提供了一种滤波器，包括：衬底；衬底上的介质层；介质层中的第一金属层；槽线谐振腔，为形成在第一金属层中的槽线型谐振腔，暴露第一金属层下的介质层；输入馈线和输出馈线。本发明通过半导体制造工艺，在金属层中形成槽线谐振腔，使得信号在槽线间传播，实现信号的滤波，结构紧凑，易于在集成电路工艺中实现。