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结终端延伸的终端版图结构及其终端结构

文献类型:专利

作者田晓丽; 卢烁; 陆江; 朱阳军; 褚为利
发表日期2015-09-09
专利号CN201520087935.8
著作权人中国科学院微电子研究所 ; 上海联星电子有限公司 ; 江苏中科君芯科技有限公司
国家中国
文献子类实用新型
英文摘要

 本实用新型公开了一种结终端延伸的终端版图结构,包括有源区,有源区内具有至少一个绝缘栅双极晶体管IGBT元包结构,元包结构为并联结构,有共同的发射极电极、集电极电极和栅极电极;包围有源区外围为至少一圈呈涡旋状的P型注入的窗口,每一圈注入窗口之间,从横截面看,间隔一定距离;通过注入窗口能够形成从横截面看相互独立的P型轻掺杂区,经过一定时间的高温退火后,P型轻掺杂区相互连接,能够形成从有源区到芯片的边沿区掺杂浓度逐渐降低,结深也逐渐降低的P型轻掺杂区。本实用新型还公开了三种结终端延伸的终端结构。本实用新型能够提高终端的耐压性和降低终端设计的复杂性。

申请日期2015-02-06
语种中文
源URL[http://159.226.55.106/handle/172511/15779]  
专题微电子研究所_成果转化部
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
田晓丽,卢烁,陆江,等. 结终端延伸的终端版图结构及其终端结构. CN201520087935.8. 2015-09-09.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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