Study of metal organic chemical vapor deposition TiN thin films in real structures
文献类型：期刊论文
| 作者 | Yi, LW ; Wenjie, ZJ ; Wu, J |
| 刊名 | THIN SOLID FILMS
 |
| 出版日期 | 2006-01-01 |
| 卷号 | 515期号:4页码:2803-2806 |
| 关键词 | PLASMA TREATMENT TITANIUM NITRIDE INTEGRATION EVOLUTION |
| ISSN号 | 0040-6090 |
| 通讯作者 | Yi, LW, Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Microsyst & Informat Technol, Shanghai 200050, Peoples R China |
| 学科主题 | Materials Science, Multidisciplinary; Materials Science, Coatings & Films; Physics, Applied; Physics, Condensed Matter |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2011-11-09 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/17505]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_化学研究_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Yi, LW,Wenjie, ZJ,Wu, J. Study of metal organic chemical vapor deposition TiN thin films in real structures[J]. THIN SOLID FILMS,2006,515(4):2803-2806. |
| APA | Yi, LW,Wenjie, ZJ,&Wu, J.(2006).Study of metal organic chemical vapor deposition TiN thin films in real structures.THIN SOLID FILMS,515(4),2803-2806. |
| MLA | Yi, LW,et al."Study of metal organic chemical vapor deposition TiN thin films in real structures".THIN SOLID FILMS 515.4(2006):2803-2806. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。