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等离子体材料加工

文献类型:期刊论文

作者吴承康
刊名航空制造技术
出版日期1995
期号S1页码:11-12
通讯作者邮箱ckw@imech.ac.cn
关键词等离子加工 等离子喷涂 等离子熔炼 气相沉积
ISSN号1000-8756
通讯作者吴承康
中文摘要就等离子喷涂及材料合成原理作简单叙述,着重介绍了等离子体材料加工技术在膜层沉积、微电子器件加工及金属熔炼等方面的应用。
语种中文
公开日期2009-08-03 ; 2010-08-20
源URL[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/35110]  
专题力学研究所_力学所知识产出(1956-2008)
通讯作者吴承康
推荐引用方式
GB/T 7714
吴承康. 等离子体材料加工[J]. 航空制造技术,1995(S1):11-12.
APA 吴承康.(1995).等离子体材料加工.航空制造技术(S1),11-12.
MLA 吴承康."等离子体材料加工".航空制造技术 .S1(1995):11-12.

入库方式: OAI收割

来源:力学研究所

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