Nanofabrication based on MEMS technology
文献类型：期刊论文
| 作者 | Wang, YL ; Li, XX ; Li, T ; Yang, H ; Jiao, JW |
| 刊名 | IEEE SENSORS JOURNAL
 |
| 出版日期 | 2006-01-01 |
| 卷号 | 6期号:3页码:686-690 |
| 关键词 | ON-INSULATOR SUBSTRATE IMPRINT LITHOGRAPHY ROOM-TEMPERATURE SILICON FABRICATION SI RESONATORS RESOLUTION OPERATION FILMS |
| ISSN号 | 1530-437X |
| 通讯作者 | Wang, YL, Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Microsyst & Informat Technol, State Key Lab Transducer Technol, Natl Lab Microsyst Technol, Shanghai 200050, Peoples R China |
| 学科主题 | Engineering, Electrical & Electronic; Instruments & Instrumentation; Physics, Applied |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2011-11-08 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/17319]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_太赫兹、微波射频技术_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang, YL,Li, XX,Li, T,et al. Nanofabrication based on MEMS technology[J]. IEEE SENSORS JOURNAL,2006,6(3):686-690. |
| APA | Wang, YL,Li, XX,Li, T,Yang, H,&Jiao, JW.(2006).Nanofabrication based on MEMS technology.IEEE SENSORS JOURNAL,6(3),686-690. |
| MLA | Wang, YL,et al."Nanofabrication based on MEMS technology".IEEE SENSORS JOURNAL 6.3(2006):686-690. |
入库方式： OAI收割
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