深亚微米刻蚀与等离子体源
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吴汉明 |
| 刊名 | 中国科学基金
 |
| 出版日期 | 1996 |
| 期号 | 1页码:31 |
| 关键词 | 等离子体源 亚微米刻蚀 挑战性问题 |
| ISSN号 | 1000-8217 |
| 通讯作者 | 吴汉明 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:349821 |
| 公开日期 | 2009-08-03 ; 2010-08-20 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/35428]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴汉明. 深亚微米刻蚀与等离子体源[J]. 中国科学基金,1996(1):31. |
| APA | 吴汉明.(1996).深亚微米刻蚀与等离子体源.中国科学基金(1),31. |
| MLA | 吴汉明."深亚微米刻蚀与等离子体源".中国科学基金 .1(1996):31. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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