高通量无极真空紫外光源
文献类型：专利
| 作者 | 束继年,孟筠旺,高绍凯,张 阳,李 曜 |
| 发表日期 | 2009-10-28 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101567297 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院生态环境研究中心 |
| 中文摘要 | 本发明公开一种高通量无极真空紫外光源，该光源由射频电源、射频调谐匹配装置、配气系统、气体缓冲腔、电磁诱导线圈、惰性气体激发管和氟化镁透镜窗片组 成。其激发气体为氦、氖、氩、氪气、氙等惰性气体或其一定比例的混合气体。氟化镁透镜、惰性气体激发管和气体缓冲腔接口密封采用氟化O-ring，方法简 便，可反复拆卸，任意更换灯体损坏的零部件。该光源主要输出8-10.5eV的连续真空紫外光。 |
| 公开日期 | 2011-10-18 |
| 申请日期 | 2008-04-25 |
| 专利申请号 | CN200810105121.7 |
| 源URL | [http://ir.rcees.ac.cn/handle/311016/1254]  |
| 专题 | 生态环境研究中心_大气环境科学实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 束继年,孟筠旺,高绍凯,张 阳,李 曜. 高通量无极真空紫外光源. CN101567297. 2009-10-28. |
入库方式： OAI收割
来源：生态环境研究中心
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