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ELECTROCHEMICAL C-V METHOD FOR DETERMINATION OF SEMICONDUCTOR IMPURITY PROFILE

文献类型:期刊论文

作者SHAO, YF ; CHEN, ZY ; PENG, RW
刊名CHINESE PHYSICS
出版日期1983
卷号3期号:4页码:1049-1056
ISSN号0273-429X
通讯作者SHAO, YF, CHINESE ACAD SCI,SHANGHAI INST MET,SHANGHAI,PEOPLES R CHINA
学科主题Physics, Multidisciplinary
收录类别SCI
语种英语
公开日期2011-12-17
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/34519]  
专题上海微系统与信息技术研究所_新能源技术_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
SHAO, YF,CHEN, ZY,PENG, RW. ELECTROCHEMICAL C-V METHOD FOR DETERMINATION OF SEMICONDUCTOR IMPURITY PROFILE[J]. CHINESE PHYSICS,1983,3(4):1049-1056.
APA SHAO, YF,CHEN, ZY,&PENG, RW.(1983).ELECTROCHEMICAL C-V METHOD FOR DETERMINATION OF SEMICONDUCTOR IMPURITY PROFILE.CHINESE PHYSICS,3(4),1049-1056.
MLA SHAO, YF,et al."ELECTROCHEMICAL C-V METHOD FOR DETERMINATION OF SEMICONDUCTOR IMPURITY PROFILE".CHINESE PHYSICS 3.4(1983):1049-1056.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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