转动竖直镜面微机械光开关及其制造方法
文献类型：专利
| 作者 | 杨艺榕 ; 唐衍哲 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2003-03-26 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1405590 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种竖直镜面微机械光开关及其制作方法，其特征在于：该光开关的悬臂梁驱动器、反射镜、光输入和输出的对准槽全都集成在一个硅片上；以非零度角入射，输出在反射角方向接收，输入球透镜最大程度地靠近镜面，输出球透镜前后错开摆放，输入和输出的光轴平面与微镜中心在同一水平面上；所述的悬臂梁驱动器，根部固定，自由端有一镜面与之垂直，在悬臂梁左右分别制作两个对称电极，同时在靠近自由端处有两个限位块，采用静电力驱动方式；悬臂梁靠近自由端处的限位块控制转动的角度和确保电绝缘；该光开关通过腐蚀(100)硅片，制得硅的{1 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2003-03-26 |
| 申请日期 | 2002-11-08 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 02145147.8 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/47795]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨艺榕,唐衍哲,王跃林. 转动竖直镜面微机械光开关及其制造方法. CN1405590. 2003-03-26. |
入库方式： OAI收割
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