一种利用<110>硅片制作的微机械光开关
文献类型：专利
| 作者 | 向民 ; 杨艺榕 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2003-03-26 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1405592 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明提供一种利用器件领域。其特征在于它是由A、B两个部分紧密结合而成，且相互绝缘；A部分上的组件有外框架、左右两个副悬臂梁、左右两个副质量块、主悬臂梁、主质量块、微镜、微镜支撑体、两个进光光纤定位槽和两个出光光纤定位槽；B部分上的组件有一个上层面、左右两个中层面、一个底层面、左右两个副硅片上制作出垂直的<111>镜面，并设计结构使之可以在垂直方向上大位移移动从而完成光路切换功镜面严格与<110>底面垂直以及微镜支撑体设计、大位移结构设计都极大地降低了光信号的损耗。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2003-03-26 |
| 申请日期 | 2002-11-01 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 02137791.X |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/47797]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 向民,杨艺榕,王跃林. 一种利用<110>硅片制作的微机械光开关. CN1405592. 2003-03-26. |
入库方式： OAI收割
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